摘要

瞬态电压抑制二极管TVS管芯钝化工艺与功率器件芯片相同,多为玻璃钝化工艺。针对玻璃钝化TVS管芯制造过程中晶片弯曲易碎以及切割存在隐患的问题,设计开发了一种新型钝化工艺。