不同金属掺杂对TiO_2薄膜氧敏性能影响

作者：王巍; 王晓磊; 代作海; 王颖

来源：电子质量, 2011, (02): 11-13.

DOI：10.3969/j.issn.1003-0107.2011.02.004

• TiO2
• Fe
• W
• 氧敏特性 titanium oxide
• Fe
• W
• oxygen sensing

该文讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理、重点分析了掺铁和掺钨对氧敏特性的影响,并比较了两者的异同。制作了掺铁和掺钨的TiO2薄膜,并在400℃下对薄膜氧敏特性进行了测试。结果表明,TiO2具有低电阻的特点,在高温下能够有效感应氧气浓度的变化。

• 单位
  重庆邮电大学