一种TEM样品承载装置

作者：钟超荣; 贾奕柠; 雷炜斌; 黄荣

来源：2020-06-10, 中国, CN202021063875.3.

本实用新型公开了一种TEM样品承载装置,包括附连元件(11),所述附连元件(11)形成于基底(10)的一个侧面,附连元件(11)上粘接附连样品(12),附连样品(12)的一个表面正对离子束,基底(10)旋转90度后,附连样品(12)的另一个表面正对离子束,离子束不会被基底(10)的一部分遮挡住。本实用新型的TEM样品承载装置适用于加工附连样品的多个表面,实现了同一个附连样品,多区域TEM观测功能。

• 单位
  华东师范大学