从隔膜对超软X射线的衰减特性、射线强度与隔膜面密度的数学关系、工程模型建立等方面,阐述了超软X射线实现隔膜面密度在线测量的原理。介绍了测量仪的组成与各部件功能。测量仪在隔膜涂布生产现场的实际应用表明:其测量重复性与再现性小于10%;64组测量值与称重值的比对无显著差异,标准差为0.11g/m2;利用测量仪构成闭环控制系统,面密度波动小于0.1g/m2。