一种计算纳米CMOS器件中应力致界面态的方法

作者：马丽娟^*; 徐跃

来源：淮阴师范学院学报(自然科学版), 2020, 19(02): 128-132.

DOI：10.16119/j.cnki.issn1671-6876.2020.02.007

• CMOS器件
• 界面态
• 计算方法

在纳米CMOS器件中,负栅压温度不稳定性、热载流子注入效应和栅氧化层经时击穿等应力使得Si/SiO2界面产生界面态,引起器件参数的退化.随着CMOS器件不断缩小,这种退化将严重制约器件性能.提出了一种改进的计算纳米CMOS器件中应力产生界面态的方法,能够对应力产生的界面态进行定量描述.该方法在电荷泵基础上测量纳米小尺寸器件初始状态和应力状态下的衬底电流,提取电荷泵电流(Icp),计算出应力产生的界面态密度.测量过程中,脉冲频率固定不变,降低了频率变化所带来的误差.

• 单位
  南京邮电大学