基于CPLD的线阵CCD尺寸测量系统研究

作者：秦旭磊; 孙振路; 陆学飞

来源：河北省科学院学报, 2011, (04): 7-9+21.

DOI：10.16191/j.cnki.hbkx.2011.04.002

• 线阵CCD
• 非接触测量
• 测量精度 Linear CCD
• Non-contact measurement
• Precision of measurement

利用CCD传感器对工件进行测量是非接触测量领域的常用方法,本文介绍了一种基于线阵CCD器件TCD1206的微器件尺寸测量系统的设计方法,对系统的组成原理和工作方式进行了论证,硬件部分使用了Altera公司的CPLD器件,实验表明系统设计方案可行,测量精度达到±0.01mm,符合设计要求。

• 单位
  河北省科学院; 长春理工大学