长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正

作者：李顺; 巩岩

来源：光学学报, 2011, (11): 117-123.

• 光学测量
• 误差分析
• 数据处理
• 长程轮廓仪
• 掠入射望远镜
• X射线光学 optical measurement
• error analysis
• data processing
• long trace profiler
• grazing incidence telescope
• X-ray optics

为了提高使用长程轮廓仪对筒状超光滑非球面进行面型测量的精度,研究并总结了测量过程中常见的误差源及校正方法。针对测量过程中对结果影响较大的转台转轴与待测筒状镜光轴之间的倾斜和偏心误差做了详细的分析,提出利用数据处理校正这部分误差的方法。编写了相应的数据处理程序,通过数值模拟实验对该程序进行了验证。实验结果表明,该程序能够有效去除转台转轴与待测镜之间倾斜和偏心产生的系统误差,提高长程轮廓仪用于筒状镜面型测量时的测量精度。在转台转轴与待测镜之间具有5μm的偏心和大约1′的倾斜时,使用该程序还原50nm量级的面型轮廓,还原精度为均方根值(RMS)2.8nm,峰谷值(PV)18.5nm。

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室