TDR系列晶体生长设备速度跑合系统

作者：田召

来源：电子工业专用设备, 2008, (02): 15-17.

• 坩埚速度系统跑合
• 籽晶速度系统跑合
• 操作装置
• 检测报警装置
• 晶体生长设备 Operation installation
• Testing alarm installation
• Crystal growing equipment

主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点。本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求,提供了一种安全、可行的检测和跑合调试手段,以满足企业和市场的需要。

• 单位
  西安理工大学