全氟弹性体密封件在半导体工业中的选择和应用

作者：罗生乔; 窦若岸; 赖碧红

来源：有机氟工业, 2022, (04): 58-64.

• FFKM
• 半导体工业
• 选用指南

全氟弹性体(FFKM)具有优异的耐介质、耐热和力学性能，是一种出色的密封材料。但由于其复杂的生产和加工工艺，成本高昂，仅应用于尖端领域，例如半导体加工业就是一个典型应用。分析了半导体制造业对密封件的要求，并列举了半导体用FFKM密封件主要的生产商、牌号及其性能和应用。

• 单位
  中蓝晨光化工研究设计院有限公司