一种应用正态分布理论的直线超声电机精密定位控制方法

作者：周丽平; 孙志峻; 张泉; 郭语

来源：中国电机工程学报, 2012, 32(27): 60-65+183.

DOI：10.13334/j.0258-8013.pcsee.2012.27.008

• 直线超声电机
• 定位平台
• 宏微驱动
• 大行程
• 精密定位 linear ultrasonic motors(LUSM)
• positioning stage
• macro/micro drive
• large stroke
• precision positioning

针对直线超声电机在精密驱动过程中存在较强的非线性、时变性及控制模型复杂等问题,提出了一种基于正态分布理论统计直线超声电机驱动电压与速度/位移关系的方法,结合模糊逻辑控制技术,实现了对直线超声电机精密定位控制。利用宏微驱动控制模式对超声电机驱动的平台进行大行程、高精度定位实验研究,实验结果表明采用所提方法,当行程为5 mm时,稳态误差小于5 nm,能抑制系统的超调,改善系统动态性能。同时,由于直线超声电机动态保持力非常大,使得系统具有良好的抗扰动能力。

• 单位
  机械结构力学及控制国家重点实验室; 南京航空航天大学