科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
光束指向稳定系统基于对光束位置和角度的控制，能够实现对光束指向的高精度主动控制，在微纳光刻及超分辨成像等领域中发挥着重要的作用。为了实现光束的长时间指向稳定，提出一种分离式调控的小型化光束指向稳定系统，消除了传统方案中双反射镜校正带来的耦合误差，大幅度提升了光束指向精度的控制性能。对比测试结果表明，基于该方法的光束指向稳定系统对光束位置的稳定精度（RMS值）可达0.3μm，角度稳定精度（RMS值）达到1μrad；施加一定幅度的主动扰动后的测试结果表明，该系统在较大的光源抖动下仍能保持同一量级的稳定精度。相比于同样测试条件下的两种商业化光束指向稳定系统，其位置抖动与角度抖动性能可提高50%以上。
-
单位之江实验室; 现代光学仪器国家重点实验室; 浙江大学
