摘要

将化学刻蚀法与金属辅助刻蚀法相结合,制备了形貌统一、分布均匀的高质量柔性硅纳米线阵列结构,用石墨烯量子点对其表面进行修饰,得到了表面稳定且具有强载流子传输能力的柔性石墨烯量子点/硅纳米线核-壳结构阵列,用其制备气敏设备检测NO2.结果表明,基于该阵列的电阻式气敏设备对NO2的检测灵敏性及可重复性极高,检测浓度极限达20 mg/m3;不同弯曲度的柔性石墨烯量子点/硅纳米线阵列的气敏特性未大幅度降低,弯曲90o时响应电流峰值为未弯曲时的70%.