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摘要
MEMS加速度计的噪声和线性指标是地震监测应用领域的关键问题，采用闭环力反馈是提高这些性能的有效途径。然而，由于对质量块不需要额外的电极来施加电静力，并且其残余位移会给闭环传递函数带来显著的非线性，从而影响该方法的有效性。因此，本文提出一种基于离散时间反馈的闭环MEMS加速度计，分时完成电容变化检测及静电力反馈，最大程度的减小了反馈信号对检测信号的馈通及耦合。利用开关电容电路中的相关双采样电路噪声消除技术，及电路参数噪声优化，可实现噪声谱密度小于0.5μg/Hz1/2的微加速度计。
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单位中国地震局工程力学研究所; 黑龙江省水利科学研究院
