原子层沉积法制备ZnO薄膜晶体管教学研究

作者：陈雪; 吴宏伟

来源：牡丹江师范学院学报(自然科学版), 2023, (03): 73-77.

DOI：10.13815/j.cnki.jmtc(ns).2023.03.012

• 电子器件
• 半导体物理
• 后处理

采用原子层沉积法制备ZnO薄膜晶体管，研究高温退火对其性能的影响，并将其引入半导体物理课程教学，让学生更加直观了解半导体的样品制备和测试分析，更加有效地培养学生的探索创新精神.

• 单位
  物理学院; 安徽理工大学