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摘要
采用化学气相沉积（CVD）技术在硬质合金基体表面制备TiCN涂层，随后利用强流脉冲电子束（HCPEB）对TiCN涂层表面进行辐照处理。通过X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）等仪器观察了HCPEB辐照前后TiCN涂层的微观结构变化，并对比分析了其显微硬度和耐磨性能。结果表明：HCPEB辐照前后TiCN涂层的相组成保持不变，但相衍射峰的位置发生偏移且有所宽化，表明涂层晶粒细化，同时涂层内部应力状态发生改变；辐照后涂层表面粗大的晶粒消失，涂层变得光滑平整；随着辐照次数的增加，涂层的厚度逐渐减小。显微硬度和摩擦磨损试验结果表明，HCPEB辐照显著增加了TiCN涂层的表面显微硬度，其耐磨性能得到显著提升。涂层表面粗糙颗粒的消除、涂层晶粒细化、高密度晶体缺陷的形成以及涂层内部残余应力的改变是HCPEB辐照TiCN涂层性能改善的主要原因。
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