光刻设备运输中的并联结构减振方案分析

作者：宋兴龙

来源：集成电路应用, 2023, 40(02): 303-305.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.02.135

• 光刻设备
• 大型精密设备
• 钢丝绳并联
• 减振系统

阐述光刻设备中的大型精密设备运输减振需求，设计了基于钢丝绳弹簧并联结构的运输减振方案，可以满足运输过程中冲击<5g减振需求。探讨钢丝绳并联结构的动力学特性，获得不同参数下系统的减振特性，针对运输减振方案中的结构进行强度仿真，给出某设备运输过程的实测结果。