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摘要
离子源是各种类型质谱仪、离子加速器、离子注入机、离子束刻蚀机等电真空设备不可缺少的部件,静电透镜系统是离子源的重要组成部分。本文基于圆孔膜片透镜理论及带电粒子在静电场中的运动理论,利用多重物理场软件COMSOL对一种小型化离子源的离子加速系统进行了仿真研究。分析了离子加速区透镜片数为4片、23片时不同位置的圆孔膜片透镜电压对离子束能量及发散角的影响。计算结果表明,离子加速区膜孔透镜数量为4片时,更易于通过透镜电压调节离子束光斑尺寸,当膜孔透镜相对位置为12 mm、透镜电压为510 V时,离子束发散角最小值为3°,离子能量最高值为480 eV。
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单位北京卫星环境工程研究所; 合肥工业大学
