大行程精密定位超磁致伸缩驱动器的设计与控制

作者：杨斌堂; 徐彭有; 孟光; 杨德华; 许文秉; 谭先涛

来源：机械工程学报, 2012, (01): 25-31.

• 超磁致伸缩驱动器
• 大行程驱动器
• 组合驱动器
• 柔性铰链放大机构
• 前馈控制 Giant magnetostrictive actuator Long-stroke actuator Combined actuator Flexible hinge amplify mechanism Fed forward control

实现一种新型的固态智能材料驱动大行程精密驱动器的设计和控制。基于超磁致伸缩驱动原理和柔性铰链放大机构,采用非永磁和永磁偏置驱动器粗—精驱动组合设计,研制大行程精密超磁致伸缩组合驱动器。建立永磁偏置下的电磁、永磁复合磁场激励的驱动器位移控制系统传递函数模型,实现了粗、精分级精密定位控制方法。实现一套超磁致伸缩组合驱动器原型样机,并进行了精密定位驱动试验验证测试。试验结果证明系统模型的准确性和控制方法的有效性,样机驱动行程可达0.71 mm。并测得在温升负效应情况下,控制行程在0.6 mm范围内,所设计超磁致伸缩组合驱动器位移分辨率为±30 nm,驱动位移精度达±90 nm。研究成果可广泛用于基于...

• 单位
  上海交通大学; 中国科学院; 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所