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摘要
本发明提供一种分层多端口螺旋电感器,包括衬底、多层绝缘介质层、多层金属布线层和过孔；所述衬底上形成多层绝缘介质层,且每层绝缘介质层上都形成有金属布线层,每层绝缘介质层内都有用于连接上下金属布线层的过孔,金属布线层包括螺旋状的金属线圈以及引出的电感端口,所述金属线圈的中心在同一平面法线上,每层金属布线层中具有多匝螺旋状金属线圈,其中任意两匝螺旋线圈之间形成差分结构；任意相邻两层金属布线层中的金属线圈相互错开,任意相邻三层金属布线层中,中间层金属线圈向线圈中心收缩或者扩张。本发明能够提高单位衬底面积的电感值,提供多个电感端口,降低螺旋电感的寄生电容,进而扩大了螺旋电感器的应用范围。
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