一种等离子体参数微波-激光联合实时诊断系统及方法

作者：包为民; 李小平; 刘彦明; 赵成伟; 魏强; 夏冬; 孙超; 刘东林; 张佳; 邓伟锋; 贾静; 张天佑; 梁鑫; 刘康

来源：2022-10-31, 中国, CN202211349820.2.

本发明针对于宽电子密度范围(1×10～(10)～1.5×10～(13))的等离子体公开了一种等离子体参数微波-激光联合实时诊断系统和一种等离子体参数微波-激光联合实时诊断方法,可对连续点火的等离子体开展实时、高精度的电子密度诊断。针对于电感耦合(ICP)产生的等离子体,在等离子体区域两侧架设微波透射诊断系统和远红外激光干涉仪,低电子密度状态采用微波诊断系统,高电子密度状态采用激光诊断。两种诊断系统在等离子体中传输路径不同,通过不同位置诊断结果试验,对诊断数据进行修正。在不同激励功率温度不同,通过热电偶测量透镜天线表面温度,对相位漂移进行修正,从而对连续点火下的宽范围等离子体开展高精度的联合实时诊断。

• 单位
  西安电子科技大学