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摘要
设计了一种微型直线压电电机。该压电电机由U形开口的矩形薄板定子和U形碟簧动子组成。电机采用两个正交的面内一阶弯振和面外一阶弯振作为工作模态,以降低驱动频率减小损耗。通过多物理场有限元仿真软件COMSOL对电机进行模态分析和参数优化。定子采用激光加工方法以减小误差,其尺寸为6 mm×7 mm×0.8 mm,质量仅0.21 g。载荷实验结果表明:在200 Vp-p,频率20.06 kHz,相位差90°的双相正弦电压激励下可提供最大45 mm/s的速度以及5.3 mN的输出力。该电机体积小,质量轻,在微纳卫星等空间高性能需求设备中具有巨大的潜在应用价值。
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