通过对二水法磷酸含氟气体洗涤工艺进行优化,含氟气体中的氟用水吸收后带入稀磷酸中。利用氟硅酸在磷酸浓缩过程中随P2O5浓度及温度的升高,蒸汽分压会增大的原理对磷酸中的F进行回收。吨浓磷酸副产氟硅酸可提高约3.57 kg。