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摘要
本发明公开了一种基于双模干涉结构的平面光波导RGB耦合器。所述耦合器从下至上依次包括硅片衬底、在硅片衬底上制备的二氧化硅下包层、在二氧化硅下包层上制备的条形结构的光波导芯层、在光波导芯层和二氧化硅下包层上制备的二氧化硅上包层；光波导芯层被包埋在二氧化硅上包层中；光波导芯层中,沿光的传播方向,包括顺次连接的中央输入波导、第一双模干涉波导、连接波导、第二双模干涉波导和输出波导；本发明利用双模干涉、氮化硅波导以及波导级联方式实现工艺容差大、尺寸小以及强限光的特点,通过级联配置依次实现了红、绿激光束的耦合和红、绿、蓝三色激光束的耦合；本发明中RGB耦合器具有传输效率高、带宽大以及器件尺寸紧凑的效果。
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