同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷

作者：胡小波; 徐现刚; 李现祥; 董捷; 韩荣江; 王丽; 李娟; 王继扬; 田玉莲; 黄万霞; 朱佩平

来源：人工晶体学报, 2004, (03): 332-334.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2004.03.012

• 同步辐射单色光形貌术
• 6H-SiC单晶
• 微管
• 模拟计算 synchrotron radiation monochromatic X-ray topography
• 6H-SiC monocrystalline
• micropipe
• simulation

采用同步辐射单色光形貌术观察了 6H SiC单晶中的微管缺陷 ,发现晶片中Burgers矢量为 1c的螺位错具有较高的密度。此外 ,还观察到对应较大Burgers矢量的微管。基于微管附近的应变场 ,并根据衍射几何 ,模拟计算了一系列具有不同Burgers矢量的微管在形貌像中的直径 ,计算结果与实验观察符合较好

• 单位
  山东大学; 晶体材料国家重点实验室