AZO三维薄膜的制备与表征

作者：尹航; 王艳雪; 田睿; 吴祥明; 张影; 叶童; 李颜岩^*

来源：辽宁科技大学学报, 2019, 42(05): 361-396.

DOI：10.13988/j.ustl.2019.05.008

• 磁控溅射
• 水热法
• AZO
• 三维薄膜

室温下使用磁控溅射粉末靶在玻璃基板上制备AZO(Al:ZnO)二维薄膜;将此薄膜作为基底,利用水热法生长不同掺Al量的一维AZO纳米棒阵列,构建三维结构薄膜。通过扫描电镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和霍尔效应仪对薄膜的微观结构和光电性能进行了表征。结果表明:Al掺杂使二维ZnO薄膜载流子浓度升高、迁移率降低,整体上电阻率下降。一维AZO纳米棒的不同掺铝量可以改变其晶体结构、直径和密集程度,进而可有效调控三维AZO薄膜的光电性能。

• 单位
  辽宁省疾病预防控制中心; 辽宁科技大学