化学气相沉积合成石英玻璃中二氧化硅团簇形成分子动力学模拟

作者：周鸣飞; 黄耀松^*

来源：信息记录材料, 2021, 22(05): 17-19.

DOI：10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2021.05.009

• 二氧化硅
• 团簇
• 气相成核
• 分子动力学模拟
• ReaxFF

本文采用ReaxFF力场开展气相SiO2分子冷却形成团簇过程的分子动力学模拟,研究讨论了体系在初始温度为2500K、2414K和2326K下,经过1000K下降后的成核过程,结果表明在一定温度和压力条件下分子自发形成团簇是可以发生的,团簇形成过程是由Si-O键断裂开始,经历分子吸附后不断长大,这个过程伴随着能量及饱和比的突变。

• 单位
  苏州大学