半导体厂净化空调空气分子污染监测与控制

作者：唐旺; 邱丰炜

来源：集成电路应用, 2021, 38(10): 9-12.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2021.10.004

• 半导体生产
• 空气分子污染
• 净化空调
• 化学过滤网
• 监控

探讨空气中的化学分子对半导体或液晶产品的潜在影响,空气分子污染降低了产品良率。阐述空气中化学分子的种类及来源,并对如何处理与监控进行了分析,可为新建半导体厂提供案例参考。

• 单位
  株洲中车时代电气股份有限公司