溶胶-凝胶法MgF_2紫外增透膜的制备和性能研究

作者：崔延霞; 张磊; 徐耀; 吴东; 孙予罕; 吕海兵; 王海军; 蒋晓东

来源：强激光与粒子束, 2008, (03): 401-405.

• 溶胶-凝胶法
• 增透膜
• MgF2
• 激光损伤 Sol-gel
• Anti-reflective film
• Laser damage

采用溶胶-凝胶法,以醋酸镁和氟化氢为原料,以甲醇为溶剂制备了MgF2溶胶,利用浸渍提拉法在洁净石英基片上镀膜,考察了反应温度对溶胶微结构、薄膜结构和性能的影响。样品采用激光动态光散射、透射电镜、X射线粉体衍射仪、紫外-可见光谱仪、原子力显微镜进行表征。结果表明:通过该方法制备的表面平整的低折射率MgF2薄膜,在紫外区具有很好的增透性能,同时在紫外波长355 nm激光的辐照下(脉宽6ns),薄膜具有较高的抗激光损伤性能,激光损伤阈值达10.85 J.cm-2。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 煤转化国家重点实验室; 中国科学院研究生院; 中国科学院山西煤炭化学研究所