基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法研究

作者：吕清花; 程壮; 翟中生^*; 王选择; 崔甲臣; 吕辉

来源：光电工程, 2020, 47(02): 64-71.

• 三自由度测量
• 无衍射光
• 莫尔条纹
• 液晶空间光调制器

针对工作台运动误差,提出了一种基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法。通过液晶空间光调制器(SLM)生成无衍射光,利用两束无衍射光干涉生成莫尔条纹。设计了无衍射光莫尔条纹三自由度测量光路,建立了三自由度运动误差数学模型,并用几何分析法将三种运动误差(偏摆角、滚转角和俯仰角)进行分离。利用旋转台模拟不同大小的三自由度运动误差,带有误差信息的无衍射光和莫尔条纹图案分别由CCD1和CCD2接收。实验结果表明,通过光斑中心偏移量计算出的实际运动误差值接近理论值,测量误差不超过0.0104°,验证了无衍射光莫尔条纹三自由度测量系统的可行性与正确性。

• 单位
  湖北工业大学