摘要

利用微机电重力加速度计实现倾斜角测量,阐述了其基本工作原理及重要指标参数,增量灵敏度对输出倾斜角分辨率的决定性。使用Matlab分析了影响输出测量结果的误差,如0g偏置和灵敏度失配,及其影响程度,提出基本的校准方法;还分析了温度漂移对前两者失调造成的测量误差。通过基本校准,本文所设计的系统测量精度达0.1°。