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摘要
针对超精密运动工作台在高速高精度运动过程中的小冲击、小残余振动等运动要求，研究了一种基于三阶速度轨迹和四阶位移轨迹混合拼接的超精密轨迹规划算法。阐述了精密运动工作台轨迹规划具备的实用性特点及约束条件；然后，以系统动力学为基础，结合运动工作台点对点场景运动全过程，提出了对其第二运动阶段的速度进行三阶轨迹规划，并根据运动工作台实际工作区域中稳定时间及工作时间累加结果，完成四阶轨迹特征组合；进而结合工作区域起始位置及三阶速度轨迹对应位移值，反推第一运动阶段终点坐标及位移，求得第一运动阶段特征参数组合；最后，根据第一运动阶段和第二运动阶段的时间切换矩阵特点，拼接形成时间切换矩阵并输出对应加加速度斜率序列，结合多重离散积分方法及精度控制策略，得出运动工作台运动规划轨迹。实例证明提出的算法精确和有效。
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单位中国电子科技集团公司第四十五研究所
