双层PZT相控阵换能器研究

作者：林锦豪; 姚银波

来源：中国医疗器械信息, 2023, 29(11): 44-142.

DOI：10.15971/j.cnki.cmdi.2023.11.041

• 静态电容
• 高灵敏度
• 振动模式
• 电匹配

为了提升医用相控阵的图像性能，需要用高灵敏度、高带宽的相控阵换能器。通过双层PZT设计，降低换能器电阻抗，进而改进等效电阻抗匹配。在整体振元宽高比固定的情况下，测试不同厚度组合的静态电容和压电耦合系数，找出最佳的双层PZT厚度组合；制作出等厚度双层PZT相控阵换能器，该换能器比常规单层ZPT换能器在灵敏度提高4.56dB，带宽提高5.23%。等厚双层PZT工艺可有效改善小尺寸振元的电匹配，提升换能器整体性能。