近年，我国集成电路产业快速成长，产业规模有了较大提升，企业成规模化聚集在特色产业园。集成电路生产过程所涉及的化学品种类繁多，产生多种有毒有害气体，运行期持续的废气排放会对区域环境产生影响。做好集成电路项目大气环境影响评价是项目建设环保可行的重要依据，从环评编制类型、工艺废气的产生、废气排放标准、废气治理措施、废气的排放和管理、评价结论6个方面对集成电路制造工业大气环境影响评价进行了阐述，同时对集成电路行业环评工作中应关注的问题进行了探讨，为环境影响评价从业人员和审批人员提供参考。
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