磁控溅射用W-Ti合金靶材的研究进展

作者：杨亚飞; 姚草根^*; 吕宏军; 李启军; 崔子振

来源：宇航材料工艺, 2021, 51(06): 10-16.

• W-Ti合金靶材
• 集成电路
• 致密度

W-Ti合金靶材可作为原材料,通过磁控溅射技术,制备W-Ti、W-Ti-N、W-Ti-O等功能薄膜,应用于集成电路、薄膜太阳能电池等领域。本文介绍了W-Ti合金靶材的性能指标、各种制备技术和应用领域,提出高纯度、全致密、少富Ti相、小粒径、大尺寸、低成本是W-Ti合金靶材的重要方向。

• 单位
  航天材料及工艺研究所