MgB_2超薄膜的制备和性质研究

作者：孙玄; 黄煦; 王亚洲; 冯庆荣

来源：Acta Physica Sinica, 2011, (08): 641-650.

• MgB2超薄膜
• 薄膜生长
• 氢气流量
• 混合物理化学气相沉积 MgB2 ultra-thin film
• film growth
• H2 flowing rate
• hybrid physical-chemical vapor deposition

利用混合物理化学气相沉积法在6H-SiC(001)衬底上制备干净的MgB2超导超薄膜.在本底气体压强、载气氢气流量等条件一定的情况下,改变B2H6流量及沉积时间,制备得到不同厚度的系列MgB2超薄膜样品,并研究了超导转变温度Tc、剩余电阻率ρ(42K)、上临界磁场Hc2等与膜厚的关系.该系列超薄膜沿c轴外延生长,随膜厚度的变小,Tc(0)降低,ρ(42K)升高.膜在衬底上的生长遵循Volmer-Weber岛状生长模式.对于厚度为7.5nm的MgB2超薄膜,Tc(0)=32.8K,ρ(42K)=118μΩcm,是迄今为止所观测到的厚度为7.5nm的MgB2超薄膜最高的Tc值;对于厚度为10nm的...

• 单位
  物理学院; 人工微结构和介观物理国家重点实验室; 北京大学