W波段TWT用硼掺杂金刚石衰减器的热稳定性能研究

作者：化称意; 李莉莉; 潘攀; 蔡军; 冯进军

来源：太赫兹科学与电子信息学报, 2023, 21(10): 1189-1193.

• 硼掺杂金刚石膜
• 介电性能
• 衰减器
• 热稳定性

针对大功率折叠波导行波管(TWT)对高导热衰减材料的迫切需求，开展了硼掺杂金刚石膜制备和介电性能研究，在此基础上研制出硼掺杂金刚石衰减器并探究衰减器性能的热稳定性。研究结果表明，硼掺杂浓度为1.81×1019 cm-3的金刚石膜，在W波段介电常数和损耗角正切平均值分别为7.18和0.30；随着环境温度从室温升高至90℃，在85～110 GHz范围内，硼掺杂金刚石衰减器的|S11|由19.67 dB提高至20.94 dB，|S21|由44.03 dB提高至45.63 dB，呈现出较高的热稳定性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十二研究所