采用改进的凝胶注模技术制备多孔陶瓷结合剂超细金刚石砂轮，研究6种不同质量分数磨料(质量分数分别为27%、30%、33%、36%、39%、42%)的多孔金刚石砂轮的显微结构和磨削性能。结果表明：磨料的质量分数直接影响砂轮磨削时的磨削电流、砂轮磨损速率，进而影响硅片磨削后的表面一致性。使用磨料质量分数为39%的砂轮时，硅片磨削后可获得粗糙度为4.8 nm的光滑表面。
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