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摘要
微机电系统(MEMS)惯性传感器标定系统是用于MEMS惯性传感器误差标定的设备。MEMS惯性传感器作为产品在使用前，需要对传感器的工作精度进行进一步标定，使传感器工作精度和稳定性达到预定性能指标。目前，用于MEMS惯性传感器的标定设备存在自动化程度低、结构冗杂、成本较高的特点，已经无法满足特殊环境下MEMS惯性传感器的批量生产需求。通过对传感器标定过程进行研究，设计了一种MEMS惯性传感器自主标定系统。并研究了一种基于摄像头延时的Double Fuzzy PID控制算法，提高设备的控制精度和工作稳定性。经过与常规PID控制方法进行仿真测试比较，测试结果表明，该基于摄像头延时的Double Fuzzy PID控制算法相较传统PID控制更适合完成对MEMS惯性传感器的高效批量生产。
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单位电子信息工程学院; 西安工业大学
