用于晶圆键合的对准标记定位算法

作者：鲁沛昕; 杨开明^*; 鲁森; 朱煜

来源：仪器仪表学报, 2021, 42(11): 220-229.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.J2108113

• 晶圆键合对准
• 对准标记定位
• 高精度
• 亚像素

对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。

• 单位
  摩擦学国家重点实验室; 清华大学