激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器

作者：刘宇; 王萌; 王博; 姜丽娟; 王少华

来源：传感器与微系统, 2013, (01): 112-114+117.

DOI：10.13873/j.1000-97872013.01.040

• 传感器
• 非本征法-珀干涉型
• 膜片式法-珀干涉型光纤压力传感器
• Nd:YAG激光加工 sensor
• extrinsic F-P interferometric(EFPI)
• diaphragm-type F-P interferometric optical fiber pressure sensor
• Nd:YAG laser processing

分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响,利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端,最后插入单模光纤并封装成非本征(EFPI)光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验,结果表明:在40～240kPa气压范围内,传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa,线性度为1.51%。

• 单位
  天津大学