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摘要
为了分析微型晶体谐振器激光调频作动平台探针末端定位误差,对探针末端处于初始加工位置时的最佳首触点,采用多体系统理论进行建模,通过低序体阵列描述多体系统拓扑结构,经坐标变换得到相邻典型体间的各齐次变换矩阵,建立探针末端定位误差模型;基于蒙特卡洛模拟法分析平台的定位误差,得到实际首触点x、y、z方向的误差仿真结果;根据仿真结果,结合加工工艺和设备特点,提出设备调试方法,为提高平台的精度和品控提供理论依据。
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单位机电工程学院; 武汉理工大学
