硬脆材料超精密抛光技术研究进展

作者：范娜; 陈传东; 张忠义

来源：稀土, 2021, 1-12.

DOI：10.16533/J.CNKI.15-1099/TF.20220010

• 硬脆材料
• 磁流变抛光
• 离子束抛光
• 化学机械抛光

随着高新技术的快速发展,对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求,传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精密抛光作为一种降低表面粗糙度、提高材料去除率,获得表面平坦化的加工技术被广泛用于材料表面末端精加工,以获得高精度的材料表面。本文结合近年来硬脆材料超精密抛光技术研究现状,分别介绍了磁流变抛光、离子束抛光和化学机械抛光等超精密抛光技术的原理及特点,总结了其在硬脆材料方面的应用研究进展,展望了硬脆材料超精密抛光技术未来的研究方向。

• 单位
  包头稀土研究院