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摘要
目前激光对中仪校准主要采用的方法为垫量块法,但是该方法存在操作复杂、工作效率低、可靠性低等缺点。本文提出了一种集光束对准与二维定位误差校准于一体的激光对中仪快速校准方法,并研制了相应的校准装置。该装置采用激光头固定器安装对中仪的被测单元,利用光栅式二维移动平台改变被测单元位置,通过三维回零偏置转台安装和调整对中仪的基准单元,利用自研的光栅数显表实时观测和显示X,Y轴位置及状态信息。该装置测量范围为40 mm×40 mm,测量扩展不确定度为3.2μm,具有准确性高、操作方便快捷、可靠性好等优点,具有实际应用价值和技术借鉴意义。
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单位中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所; 中国航发南方工业有限公司
