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摘要
本发明公开了一种高分辨率的硅基中空悬臂探针,包括悬臂和倒金字塔形针尖。悬臂上设置有金属反射层和储液区,悬臂内开设有微通道,微通道与储液区相通,倒金字塔形针尖具有内腔,倒金字塔形针尖的每个侧壁均开有通孔,通孔与内腔相通,倒金字塔形针尖位于悬臂前端,且倒金字塔形针尖通过内腔与微通道相通以输送液体,金属反射层靠近倒金字塔形针尖设置。还提供了倒金字塔形针尖和硅基中空悬臂探针的制备方法。本发明采用微纳加工工艺实现中空悬臂探针制备,纳米级针尖的保留既能保证本发明能够具备一般的商用AFM探针形貌成像功能,又降低了探针和接触物的接触面积以提升液体输送的分辨率,从而更精确地控制输送液体的体积。
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