化学气相沉积作为一种新型镀膜技术,已经发展出成熟的有极其优异的电、光、热、力、声学性能的材料制备工艺。而催化剂表面修饰以及太阳能电池材料表面修饰都是提升各自催化性能和光电转化效率的有效手段,因此将化学气相沉积作为催化剂和太阳能电池材料增材工艺是一个热点趋势。