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摘要
随着制造工艺的不断演进、电路规模的不断增大，集成电路逐渐进入后摩尔时代。如何准确快速地进行寄生电容参数提取，对于保证设计质量、减少成本和缩短设计周期变得越来越重要。文章提出了一种基于分段预留法的二维电容提取技术，该技术基于改进的有限差分法，采用非均匀网格划分和求解不对称系数矩阵方程，模拟互连结构横截面，可以高效计算出主导体的单位长度总电容以及主导体和相邻导体之间的单位长度耦和电容。为了验证提出方法的准确性和有效性，进行了一系列验证实验。实验结果表明，提出的互连线二维电容提取技术在寄生电容计算精度上平均提高了140倍，运行时间平均缩了10%。
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