基于涡旋光束微位移测量的误差处理与补偿系统及方法

作者：夏豪杰; 余鑫; 范文杰; 李维诗; 请求不公布姓名; 常松涛

来源：2022-03-30, 中国, ZL202210331935.2.

本发明公开了一种基于涡旋光束微位移测量的误差处理与补偿系统及方法,数据接收单元通过同轴射频接收插座接收来自经光学检测单元对涡旋光微位移测量系统输出的光信号进行光电转换之后的模拟信号；信号经过模数转换单元后进入ZYNQ核心处理单元进行误差计算与补偿；数据输出单元将补偿后的信号进行输出和保存；上位机单元进行参数设置及输出数据的显示和保存,上述系统完成对基于涡旋光束的微位移测量系统所输出正交信号的采集、误差处理与补偿,满足高精度运动反馈控制系统对光学精密测量单元高精度、高准确性以及高实时性正交信号的需求。可有效减小涡旋光束微位移测量系统所输出正交信号的直流漂移、幅值偏差和相位误差。

• 单位
  合肥工业大学