随着微纳科技的飞速发展,精密平台在科学研究和工业生产领域有着广泛的应用需求。提出一种基于压电驱动的二维并联精密平台,采用了对称的柔性结构和特定的压电驱动方式,对机构的中心框架实现解耦驱动;构建有限元仿真模型并进行静态和动态仿真分析;制作样机实体并搭载实验装置,对该机构的驱动特性、耦合特性和负载特性进行测试,分析该机构的工作性能。实验证明:该平台具有工作行程大、导向精度高、响应时间快、稳定性及刚性好等优点,综合应用性能良好。
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