热致动微型阀的主要结构部件为致动膜片。采用硅铝双金属作为膜片材料,设计了一种微型阀的结构,并分析其在温度变化条件下产生挠曲变形的原理。膜片的结构参数与加载温度对其变形量有着重要影响,需要对多个参数进行优化设计。利用ANSYS对膜片进行有限元分析,建立了膜片长度、厚度、宽度及其比例关系、温度对膜片变形的影响曲线,为结构设计提供了理论依据。最后,基于MEMS加工技术,对致动膜片进行了工艺设计。
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