样品辐照电子源的研发

作者:石晓倩*; 陈雪颖; 郭方准
来源:真空科学与技术学报, 2022, 42(10): 769-773.
DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202203019

摘要

为了研究地球早期环境和生命演化过程,设计制作了样品辐照电子源。电子通过热灯丝发射,能量通过阴极电压来调节,电子束斑尺寸通过静电透镜来调节。灯丝缠绕方式提高了发射电子的均匀性。根据理论分析和电磁软件仿真,确定了电子源阴极与控制极距离的参数。仿真结果显示,在能量为3.5 keV时聚焦电压越大束斑越小,在工作距离为150 mm时束斑直径可实现30-50 mm之间可调。实验结果显示,该装置发射的电子束能量在1-5 keV之间连续可调;在工作距离为150 mm时,3.5 keV电子束的束斑直径可调,与仿真结果变化趋势一致,可产生20.8μA电子束流。

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